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特性:MK超细纤维抹布，独有的0.06支细的海岛交织纤维丝，直径厚度2微米，可以清除物体表面上的油性尘粒及脏污，优越的除尘、吸水和吸附性能使它广泛应用于高科技制造工业。同时具有其它厚编织品才有的滞留水分和容易清洁的特性。
产品参数
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层级 |
材料特性 | 作用 |
|---|---|---|
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纤维原料 |
超细聚酯纤维（PET）+ 导电碳纤维混纺 | 低发尘+静电耗散 |
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编织工艺 |
激光封边（Laser-cut）或超声波切割，无纤维脱落 | 防止边缘掉屑 |
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表面处理 |
专利等离子清洗技术，去除表面游离离子 | 提升化学兼容性 |
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厚度/克重 |
0.12~0.15mm（MK-3系列）/ 克重80~120g/m² | 平衡清洁力与柔软性 |
| 规格 | 24"*24" |
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参数 |
标准值 | 测试方法 |
|---|---|---|
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颗粒释放量 |
≤0.3μm颗粒<50颗/平方英尺 | IEST-RP-CC004.3 |
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离子污染度 |
Na⁺<0.1μg/cm², Cl⁻<0.05μg/cm² | IPC TM-650 2.3.28 |
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吸液速率 |
垂直爬升≥3cm/10s（ASTM D4772） | 半导体级溶剂测试 |
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表面电阻 |
10⁷~10⁹ Ω（静电耗散型） | ESD STM11.11 |
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耐化学性 |
兼容IPA、丙酮、去离子水（无溶解） | SEMI F57 |
产品优势
（1）超高洁净性能
Class 1~10级无尘室适用：激光封边技术使边缘颗粒释放量比普通无尘布降低90%。
“零硅油”配方：避免硅污染导致的晶圆表面缺陷（符合SEMI F72标准）。
（2）多功能清洁适配
干/湿两用设计：吸液率>400%（干态）且不留水痕（湿态）。
化学惰性表面：不残留NVR（非挥发性残留物），适用于光刻胶清洁。
（3）ESD安全防护
碳纤维混纺结构实现静电耗散（摩擦电压<50V），保护敏感元器件。
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优势维度 |
具体表现 |
|---|---|
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良率提升 |
减少晶圆表面微粒吸附，降低30%以上清洁工序导致的缺陷（行业实测数据） |
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成本优化 |
可重复清洗50次以上（≤0.5μm颗粒仍达标），长期使用成本降低40% vs 普通无尘布 |
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合规性 |
通过VDA 19.3（汽车电子）、ISO Class 1（ISO 14644-1）等严苛认证 |
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工艺兼容性 |
适用于EUV光刻机镜头清洁、OLED蒸镀腔体擦拭等超高精度场景 |
